한국산업기술융합학회 올 전반기 학술대회서 기술 실용성 높이 인정 받아

 제주특별자치도에서 지난 5월 23일 개최된 ‘2025년도 한국산업기술융합학회 전반기 학술발표대회’에서 한국폴리텍대학 반도체융합캠퍼스(학장 이해춘, 이하 ‘반도체융합캠퍼스’) 반도체전기과(지도교수 왕현철) 소속 재학생들이 최우수논문상을 수상하며 큰 주목을 받았다.

 수상 팀은 2학년에 재학 중인 홍창우 학생을 포함한 5명의 학생 연구팀으로, ‘더미 매스를 활용한 히터 온도 특성 개선 연구’를 통해, 반도체 CVD 공정에서 사용되는 히터 척(Heater Chuck)의 열 분포 불균일 문제를 해결할 수 있는 실질적인 구조개선 방안을 제안했다.

 기존 히터는 장기간 사용 시 구조적 변형으로 인해 온도 편차가 발생하고, 이는 박막 품질 저하 및 공정 재현성 감소로 이어지는 문제점을 안고 있다. 이에 연구팀은 히터 하부에 ‘더미 매스(Dummy Mass)’를 부착하는 방식을 새롭게 적용하였으며, 시뮬레이션과 실험을 병행한 결과, 더미 매스의 형상 및 배열 변화가 평균 온도와 온도 편차에 긍정적인 영향을 주는 것으로 나타났다. 이 개선안은 히터 교체 없이도 공정 품질을 유지하면서 생산성을 높일 수 있는 방안으로, 산업 현장 적용 가능성이 높은 점에서 높은 평가를 받았다.

 왕현철 교수는 “학생들이 현장의 문제를 스스로 고민하고 실험을 통해 해법을 도출해낸 과정이 매우 의미 있었다”며 “이러한 경험을 바탕으로 앞으로 산업 현장에서 기술 혁신을 이끄는 인재로 성장하길 바란다”고 전했다.

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